Моделирование диффузионных процессов производства силовых полупроводниковых приборов

vastutusandmed
А. Аннус, А. Бахверк
ilmumiskoht
Таллин
ilmumisaasta
leheküljed
с. 139-144 : илл
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
märkused
Библиогр. : 13 назв
Summary: Modeling of diffusion processes of the production of power semiconductor devices
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Аннус, А., Бахверк, А. Моделирование диффузионных процессов производства силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике. 14. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1976. с. 139-144 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409, Труды по электротехнике и автоматике ; 14). https://www.ester.ee/record=b2190768*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1