Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов
autor
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 135-142
seeria-sari
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
TTÜ märksõna
märkused
Библиогр. : 5 назв
keel
vene
Бахверк, А. Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 135-142. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике ; 15).