Численное моделирование технологического процесса изготовления полупроводниковых приборов. Модель диффузии
autor
kaaspanustaja
vastutusandmed
П. А. Нобель, Т. Х. Ранг (руководитель)
ilmumiskoht
Рига
kirjastus/väljaandja
ilmumisaasta
leheküljed
с. 14
konverentsi nimetus, aeg
XXVII студенческая научно-техническая конференция вузов Прибалтийских республик, Белорусской ССР и Молдавской ССР, 19-21 апреля 1983
konverentsi toimumispaik
Рига
TTÜ struktuuriüksus
keel
vene
Нобель, П., Ранг, Т. (рук.). Численное моделирование технологического процесса изготовления полупроводниковых приборов. Модель диффузии // XXVII студенческая научно-техническая конференция вузов Прибалтийских республик, Белорусской ССР и Молдавской ССР, 19-21 апреля 1983 г. : тезисы докладов. Часть 3. Рига : Рижский политехнический институт, 1983. с. 14.