Моделирование диффузионных процессов производства силовых полупроводниковых приборов
author
statement of authorship
А. Аннус, А. Бахверк
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 139-144 : илл
series
series variant title
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
url
subject term
TTÜ subject term
notes
Библиогр. : 13 назв
Summary: Modeling of diffusion processes of the production of power semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
TTÜ department
language
vene
Аннус, А., Бахверк, А. Моделирование диффузионных процессов производства силовых полупроводниковых приборов // Труды по электротехнике и автоматике. 14. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1976. с. 139-144 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409, Труды по электротехнике и автоматике ; 14).