Метод исследования комплексного влияния параметров технологического микроклимата на качество полупроводниковых интегральных микросхем
author
Rätsep, Ülo
statement of authorship
Рятсеп, Ю. П.
source
Тезисы докладов Республиканской научно-технической конференции "Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования", посвященной Дню радио. Секция: полупроводниковые приборы
location of publication
Таллин
publisher
[Эстонское республиканское правление научно-технического общества радиотехники, электроники и связи им. А. С. Попова]
year of publication
1981
pages
с. 81-82
conference name, date
Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования, посвященной Дню радио, ноябрь 1980
conference location
Таллин
url
https://www.ester.ee/record=b1310801*est
subject term
integraallülitused
kvaliteet
elektroonikatööstus
tööruumid
mikrokliima
sisekliima
puhtus
TTÜ department
raadiotehnika kateeder
language
vene