Термообработка пластин кремния с нарушенным слоем
author
Meiler, Boriss
Ladotškin, A.
Fomin, V.
statement of authorship
Б.Л.Мейлер, А.А.Ладочкин, В.Г.Фомин
source
Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised
journal volume number month
707
year of publication
1990
pages
lk. 72-86: ill
subject term
plaadid
räni
termiline töötlemine
ISSN
0868-4081
notes
Bibl. 9 nim
review
Abstract: B.Meiler, A.Ladochkin, V.Fomin. Annealing of monocrystalline silicon slices with damaged layer
Kokkuvõte: Räniplaatide rikutud kihi termotöötlus
language
vene