Исследование весового метода для аттестации мер толщины пленок

statement of authorship
Р.А. Лаанеотс, Б.Я. Саар
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 71-77 : илл
notes
Библиогр.: 3 назв
Zusammenfassung: Untersuchung der Wiegemethode zur Eichung eines Schichtdickenmeßmittels
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
language
vene
Лаанеотс, Р., Саар, Б. Исследование весового метода для аттестации мер толщины пленок // Сборник статей по машиностроению. 8. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1971. с. 71-77 : илл. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 317, Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 317, Сборник статей по машиностроению ; 8). https://www.ester.ee/record=b2190317*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/9e5336a6-6d17-4555-8a2c-a8b547231bbb/