Качество деионизированной воды, используемой в производстве микросхем
author
Puusepp, Märt
Frid, M.
Hansen, Eerik
Hödrejärv, Helvi
statement of authorship
М. Э. Пуусепп, М. И. Фрид, Э. А. Хансен, Х. Х. Хёдреярв
source
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
journal volume number month
4 (64)
year of publication
1978
pages
с. 75-76
url
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
subject term
vesi
deioniseerimine
mikroskeemid
tootmine
ISSN
0207-6357
notes
Библиогр. 3 назв.
TTÜ department
raadiotehnika kateeder
language
vene