Низкотемпературная радиационно-стимулированная диффузия в технологии полупроводниковых приборов

author
Шишияну, Сергей
Шонтя, Виктор П.
statement of authorship
Сергей Шишияну; научный руководитель Виктор П.Шонтя
location of publication
Б.м.
year of publication
pages
с. 31-34: ил
notes
Библиогр. 4 назв