Низкотемпературная радиационно-стимулированная диффузия в технологии полупроводниковых приборов
author
Шишияну, Сергей
Шонтя, Виктор П.
statement of authorship
Сергей Шишияну; научный руководитель Виктор П.Шонтя
source
35 научная конференция студентов втузов Эстонии, Латвии, Литвы, Белоруссии и Молдовы : [Таллинн, 1991] : докдады. Секция математики [и др.]
location of publication
Б.м.
year of publication
1991
pages
с. 31-34: ил
notes
Библиогр. 4 назв