Комплексное рентгенодифракционное исследование строения нарушенных слоев, обусловленных резкой кремнии

author
Milvidski, M.
statement of authorship
М. Мильвидский, В. Фомин, М. Хацкевич, Б. Мейлер, Н. Павлов, Л. Щеголькова
source
Физика и химия обработки материалов
publisher
journal volume number month
1
year of publication
pages
с. 122-125
ISSN
0015-3214
TTÜ department
language
vene