Метод исследования технологического процесса производства интегральных микросхем, основанный на анализе кластеров состояний
author
Rätsep, Ülo
Teevet, J.-T.
statement of authorship
Ю.П. Рятсеп, Дж.-Т.Э. Тээвет
source
Методы и средства обработки сигналов при наличии шумов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1982
pages
с. 39-43
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 540
Радиотехника ; 10
series variant title
TPI Toimetised ; 540
Труды ТПИ ; 540
url
https://www.ester.ee/record=b1312255*est
https://www.etera.ee/zoom/121735/view?page=1&p=separate&search=true&tool=search
subject term
integraallülitused
tehnoloogia
protsessid
klasteranalüüs
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0320-3441
notes
Библиогр. : 4 назв
Summary: A research method for integrated circuits production process, based on condition clusters analysis
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
raadiotehnika kateeder
language
vene