Статистическая модель бороалюминиевой диффузии технологического процесса производства силовых полупроводниковых приборов

statement of authorship
А.А. Аннус, А.Г. Бахверк, Э.П. Калм, А.А. Кийтам
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 18
conference name, date
Эстонская республиканская научно-техническая конференция, посвященная Дню радио, 1977
conference location
Таллин
TTÜ department
language
vene