Установка для многократного анодного окисления полупроводников
author
Gavrilov, Aleksei
source
Электрофизические свойства полупроводниковых и диэлектрических материалов
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1986
pages
с. 73-78
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 620
Полупроводниковые материалы ; 7
series variant title
TPI Toimetised ; 620
Труды ТПИ ; 620
subject term
pooljuhtseadised
oksüdatsioon
anoodid
TTÜ subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 4 назв
language
vene