Исследование влияния технологического микроклимата в производстве интегральных микросхем : автореферат ... кандидата технических наук (05.12.18)

author
Rätsep, Ülo
supervisor
Puusepp, Märt
statement of authorship
Юло Петерович Рятсеп ; [научный руководитель: М.Э. Пуусепп] ; Таганрогский радиотехнический институт
type of dissertation
kandidaaditöö
university/scientific institution
Таганрогский радиотехнический институт
location of publication
Таганрог
publisher
[Таганрогский радиотехнический институт]
year of publication
1983
pages
23 c. : ил
subject term
elektroonikatööstus
integraallülitused
tootmistehnoloogia
tööstuslikud protsessid
tööruumid
mikrokliima
sisekliima
puhtus
name of the institution
Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова
subject of form
autoreferaadid
notes
Рятсеп, Юло Петерович, 1943-1994
[работа выполнена на кафедре радиотехники ТПИ]
Библиогр. с. 22-23
Ametialaseks kasutamiseks
Kaitsmine: Таганрогский радиотехнический институт им. В.Д. Калмыкова = Taganrogi Raadiotehnika Instituut 5.12.1983 ; kinnitatud ; tehnikakandidaat
url
https://www.ester.ee/record=b1522476*est
TalTech department
raadiotehnika kateeder
language
vene