Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов
author
Bachverk, Aleksander
statement of authorship
А. Бахверк
source
Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1977
pages
с. 135-142 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15
series variant title
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
url
https://www.ester.ee/record=b2190987*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/b7c66054-0b4f-4684-9453-442bc7e6e200
subject term
pooljuhtseadised
jõuseadised
difusioon (füüsika)
tootmistehnoloogia
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 5 назв
Summary: Identification of thermal operations sequence of diffusion technology in power semiconductor devices production
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene