Laaneots, R., Abiline, I., Nanits, M.-M., Riim, J.

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Offengelegte Patentanmeldung DE 10 2007 062966 A1. Methode zur Kalibrierung von Schichtdickennormalen

author

Laaneots, Rein

Abiline, Indrek

Nanits, Mats-Maidu

Riim, Jürgen

statement of authorship

R.Laaneots, I.Abiline, M.-M.Nanits, J.Riim

source

Patentblatt

journal volume number month

128

year of publication

2008

pages

26, p. 62484

Laaneots, R., Abiline, I., Nanits, M.-M., Riim, J. Offengelegte Patentanmeldung DE 10 2007 062966 A1. Methode zur Kalibrierung von Schichtdickennormalen // Patentblatt (2008) 128, 26, p. 62484.