Методы исследования исходных полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур
statement of authorship
А. Л. Мере, А. А. Паат, Э. И. Рузалеп, Ю. Ф. Удер
source
Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов : сборник материалов Всесоюзного научно-технического семинара. Часть 2
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 173-180
conference name, date
Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов, 1978
conference location
Таллин
subject term
notes
Библиогр. 8 назв.
TTÜ department
language
vene
Мере, А., Паат, А., Рузалеп, Э., Удер, Ю. Методы исследования исходных полупроводниковых материалов и эпитаксиальных структур // Применение эпитаксиальной технологии в производстве силовых полупроводниковых приборов : сборник материалов Всесоюзного научно-технического семинара. Часть 2. Таллин : ЭстНИИНТИ, 1978. с. 173-180.