Численное моделирование технологического процесса полупроводниковых приборов
author
Rang, Toomas
statement of authorship
Т.Х. Ранг
source
Проблемы моделирования полупроводниковых структур и сложных схем на ЭВМ
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1982
pages
с. 33-37
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 538
Электротехника и автоматика ; 21
series variant title
TPI Toimetised ; 538
Труды ТПИ ; 538
url
https://www.ester.ee/record=b1339926*est
https://www.etera.ee/zoom/121726/view?page=3&p=separate&search=true&tool=search
subject term
pooljuhtseadised
tehnoloogia
protsessid
matemaatiline modelleerimine
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0134-3823
notes
Библиогр. : 5 назв
Summary: Numerical model for technological process of semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
elektroonika kateeder
language
vene