Применение численных моделей для усовершенствования технологии производства силовых полупроводниковых приборов
author
Velmre, Enn
Udal, Andres
Freidin, Boris
statement of authorship
Велмре, Э.Э., Удал, А.Э., Фрейдин, Б.П.
source
Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления"
location of publication
Москва
publisher
б.и.
year of publication
1981
pages
с. 51-56
conference name, date
Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления, 1981
conference location
Москва
subject term
pooljuhtseadised
TalTech department
elektroonika kateeder
language
vene