Влияние облучения низкоэнергетическими электронами в растровом электронном микроскопе на параметры полупроводниковых приборов
author
Meiler, Boriss
Kropman, Daniel
Levtšenkova, Alla
statement of authorship
Б. Мейлер, Д. Кропман, А. Левченкова
source
Микроэлектроника
publisher
Наука
journal volume number month
Т. 16, 2
year of publication
1987
pages
с. 165-169 : илл
url
https://www.ester.ee/record=b2147720*est
subject term
lahused
elektronid
elektronmikroskoobid
pooljuhtseadised
ISSN
0544-1269
notes
Библиогр.: 9 назв
TTÜ department
füüsika kateeder
materjaliteaduse instituut
language
vene