Исследование элементов и систем управления температурой в реакторах эпитаксиального наращивания полупроводниковых пленок : автореферат ... кандидата технических наук (05.254)

author
Tarma, Mati
supervisor
Fatejev, A.
statement of authorship
М.Я. Тарма ; [научный руководитель: А.В. Фатеев] ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Ленинградский электротехнический институт им. В.И. Ленина
type of dissertation
kandidaaditöö
location of publication
Ленинград
publisher
Ленинградский электротехнический институт
year of publication
1970
pages
26 : ил
subject term
pooljuhtkiled
epitaksia
tööstuslikud protsessid
temperatuur
automaatjuhtimine
name of the institution
Elektrotehnika Teadusliku Uurimise Instituut
subject of form
autoreferaadid
notes
Тарма, Мати, 1938-1995
Библиогр. с. 25-26
[работа выполнена в Научно-исследовательском и проектно-технологическом институте систем планирования и управления электропромышленности (г. Таллин]
Kaitsmine: Ленинградский электротехнический институт им. В.И. Ульянова (Ленина) jaanuar 1971 ; tehnikakandidaat
url
https://www.ester.ee/record=b1521115*est
TTÜ department
automaatika kateeder
language
vene