Изучение ошибок модели управления технологического процесса создания силовых полупроводниковых структур

author
statement of authorship
Сакс Э. К.
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 71-72
conference name, date
Современные методы и устройства радиоэлектронного оборудования, Республиканская научно-техническая конференция, 1981
conference location
Таллин
TTÜ department
language
vene