Испульсное легирование кремния в сильноточном газовом разряде
author
Gavrilov, Aleksei
Katšurin, G.A.
statement of authorship
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
source
Письма в Журнал технической физики
journal volume number month
т. 8, вып. 7
year of publication
1982
pages
с. 388-391
url
https://www.ester.ee/record=b2142356*est
subject term
räni
legeerimine
gaaslahendused
ISSN
0330-0116
notes
Библиогр. 6 назв.
TTÜ department
füüsika kateeder
language
vene