Влияние технологического микроклимата на качество изделий микроэлектроники
author
Kaipoksin, L.
Puusepp, Ü.
Rätsep, Ülo
Teevet, J.-T.
statement of authorship
Кайпоксин, Л., Пуусеп, Ю., Рятсеп, Ю., Тээвет, Дж.-Т.
source
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
publisher
ЦНИИ "Электроника"
journal volume number month
2
year of publication
1983
pages
с. 76-79 : илл
url
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
subject term
mikroelektroonika
mikrokliima
ISSN
0207-6357
notes
Библиогр.: 2 назв.
TalTech department
raadiotehnika kateeder
language
vene