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Sicherung der Einheitlichkeit von Schichtdickenmessungen

author
Laaneots, Rein
statement of authorship
R. Laaneots
source
Feingerätetechnik : wissenschaftlich-technische Zeitschrift für Entwicklung, Fertigung und Anwendung von Feingeräten
journal volume number month
Jg. 26, H. 2
year of publication
1977
pages
S. 53-55 : Ill
url
https://www.ester.ee/record=b1511033*est
subject term
peenmehaanika
aparaadiehitus
ISSN
0014-9683
notes
Bibliogr.: 13 Tit
TTÜ department
peenmehaanika kateeder
language
saksa
Laaneots, R. Sicherung der Einheitlichkeit von Schichtdickenmessungen // Feingerätetechnik : wissenschaftlich-technische Zeitschrift für Entwicklung, Fertigung und Anwendung von Feingeräten (1977) Jg. 26, H. 2, S. 53-55 : Ill. https://www.ester.ee/record=b1511033*est