К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов

location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 143-151
series variant title
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
notes
Библиогр. : 9 назв
language
vene
Кийтам, А. К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 143-151. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике ; 15).