Создание и свойства высокоомных эпитаксиальных слоев кремния большой площади

author
Vinnal, J.A.
statement of authorship
Я.А. Винналь, К.Г. Кыверик, М.Т. Тарма
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 3
conference name, date
Республиканская научно-техническая конференция, посвященной 80-летию со дня изобретения радио А. С. Поповым, 1975
conference location
Таллинн
TalTech department
language
vene