Применение численных моделей при разработке полупроводниковых приборов и технологии их изготовления
author
Velmre, Enn
Udal, Andres
Freidin, Boris
statement of authorship
Велмре, Э. Э., Удал, А. Э., Фрейдин, Б. П.
source
Системы автоматизированного проектирования изделий микроэлектроники, новые методы и технологии микроминиатюрных элементов : Сборник докладов постоянно действующего семинара "Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления"
location of publication
Москва
publisher
[Б. и.]
year of publication
1981
pages
с. 51-56
conference name, date
Современная технология производства приборов, средств автоматизации и систем управления, 1981
conference location
Москва
subject term
pooljuhtseadised
konstrueerimine
tehnoloogia
matemaatilised mudelid
TTÜ department
automaatika kateeder
language
vene