Статистическое исследование влияния параметров технологического микроклимата на процесс изготовления изделий твердотельной электроники

author
Frid, M.
Kailosin, L.
statement of authorship
Фрид, М., Рятсеп, Ю., Кайлосин, Л.
source
Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике. Серия 7, Технология, организация производства и оборудование
journal volume number month
вып. 3(160)
year of publication
pages
с. 6-8
language
vene
Фрид, М., Рятсеп, Ю., Кайлосин, Л. Статистическое исследование влияния параметров технологического микроклимата на процесс изготовления изделий твердотельной электроники // Тезисы докладов и рекомендации научно-технических конференций, совещаний и семинаров по электронной технике. Серия 7, Технология, организация производства и оборудование (1981) вып. 3(160), с. 6-8. https://www.ester.ee/record=b2880670*est