Способ химической пульверизации при изготовлении тонких пленок
author
Türn, Leo
Reiter, Eerik
statement of authorship
Л.И. Тюрн, Э.К. Рейтер
source
Физическая химия соединений АIIВVI
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1987
pages
с. 40-43 ил
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 652
Полупроводниковые материалы ; 8
series variant title
TPI Toimetised ; 652
Труды ТПИ ; 652
url
https://www.ester.ee/record=b1272914*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/ab692870-76d1-4444-9c52-997bec55bd62
subject term
õhukesed kiled
pihustamine
pihustid
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
ISSN
0136-3549
0136-3581
notes
Библиогр. : 4 назв
Abstract: A method for chemically sprayer thin film
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
graafika kateeder
füüsikalise keemia kateeder
language
vene