Экспериментальное исследование статики температурных полей в горизонтальной реакционной камере эпитаксиального наращивания
author
Annus, Arno
Vergi, U.
Pint, E.
statement of authorship
А.А. Аннус, У.П. Верги, Э.Х. Пинт
source
Автоматика и вычислительная техника : [сборник статей]
location of publication
Москва
publisher
Энергия
year of publication
1971
pages
с. 39-43
series
Сборник научно-технических статей / Научно-исследовательский и проектно-технологический институт систем планирования и управления в электропромышленности (НИПТИ) ; вып. 14
series variant title
Сборник научно-технических статей (Elektrotehnika Teadusliku Uurimise Instituut) ; вып. 14
url
https://www.ester.ee/record=b2083970*est
subject term
tööstuslikud protsessid
epitaksia
temperatuur
staatika
eksperimendid
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene