Численное моделирование технологического процесса изготовления полупроводниковых приборов. Модель диффузии
author
co-contibutor
statement of authorship
П. А. Нобель, Т. Х. Ранг (руководитель)
location of publication
Рига
publisher
year of publication
pages
с. 14
conference name, date
XXVII студенческая научно-техническая конференция вузов Прибалтийских республик, Белорусской ССР и Молдавской ССР, 19-21 апреля 1983
conference location
Рига
TTÜ department
language
vene
Нобель, П., Ранг, Т. (рук.). Численное моделирование технологического процесса изготовления полупроводниковых приборов. Модель диффузии // XXVII студенческая научно-техническая конференция вузов Прибалтийских республик, Белорусской ССР и Молдавской ССР, 19-21 апреля 1983 г. : тезисы докладов. Часть 3. Рига : Рижский политехнический институт, 1983. с. 14.