Опыт разработки АСУТП в производстве полупроводниковых приборов

author
Haugas, K.E.
statement of authorship
Пуусепп, М.Э., Хаугас, К.Э.
location of publication
Таллин
year of publication
pages
с. 17
conference name, date
Конференция "Разработка и внедрение автоматизированных систем управления технологическими процессами для повышения эффективности производства и качества выпускаемой продукции", 1977
conference location
Таллинн
TTÜ department
language
vene