Система контроля микроклимата в производстве интегральных схем
author
Hansen, Eerik
Puusepp, Märt
statement of authorship
Э. А. Хансен, М. Э. Пуусепп
source
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
journal volume number month
2 (4)
year of publication
1971
pages
с. 88-92
url
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
subject term
mikroskeemid
tootmine
mikrokliima
parameetrid
TTÜ department
raadiotehnika kateeder
language
vene