Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния
author
Paat, Aadu
Timma, Enn
Trombovetski, A.
statement of authorship
А.А. Паат, Э.П. Тимма, А.И. Тромбовецкий
source
Труды по физике : сборник статей. 6
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1973
pages
с. 27-33 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 338
Труды по физике : сборник статей ; 6
series variant title
TPI Toimetised ; 338
title
series
Труды ТПИ ; 338
title
series
url
https://www.ester.ee/record=b2190564*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/020d3bce-d60f-45bd-aa8f-4906f2c1d0d6
subject term
räni
ränioksiid
polükristalsed materjalid
TTÜ subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр.: 8 назв
Zusammenfassung: Über Niederschlag von polykristallinem Silizium auf einer Siliziumdioxidschicht mit Rillenzeichnung
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TTÜ department
füüsika kateeder
language
vene