Отжиг имплантированных слоев кремния в плазме импульсного газового разряда
author
Gavrilov, Aleksei
Katšurin, G.A.
statement of authorship
А. А. Гаврилов, Г. А. Качурин
source
Физика и техника полупроводников = Physics and technics of semiconductors
journal volume number month
т. 15, вып. 6
year of publication
1981
pages
с.1232-1234
url
https://www.ester.ee/record=b1263919*est
subject term
räni
pooljuhtide tehnoloogia
plasma
ISSN
0015-3222
notes
Библиогр. 5 назв.
TTÜ department
füüsika kateeder
language
vene