Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборов
author
Annus, Arno
Voronina, J.
Kivistik, Alar
Pleskunin, V.
Post, R.
statement of authorship
А. Аннус, Е. Воронина, А. Кивистик, В. Плескунин, Р. Пост
source
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 14
location of publication
Таллин
publisher
Таллинский политехнический институт
year of publication
1976
pages
с. 145-154 : илл
series
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 409
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 14
series variant title
TPI Toimetised ; 409
Труды ТПИ ; 409
url
https://www.ester.ee/record=b2190768*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1
subject term
jõuseadised
pooljuhtseadised
tehnoloogia
protsessid
analüüs
TalTech subject term
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
notes
Библиогр. : 3 назв
Summary: Technique of reproducibility analysis for technological process producing power semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
classifier
3.2
TalTech department
automaatika kateeder
language
vene