Методика анализа воспроизводимости технологических процессов изготовления силовых полупроводниковых приборовAnnus, Arno; Voronina, J.; Kivistik, Alar; Pleskunin, V.; Post, R.Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 141976 / с. 145-154 : илл https://www.ester.ee/record=b2190768*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/aa35e320-87b1-405b-9cac-3b90c51867d1