Комплексное рентгенодифракционное исследование строения нарушенных слоев, обусловленных резкой кремнииMilvidski, M.; Fomin, V.; Meiler, BorissФизика и химия обработки материалов1986 / с. 122-125 https://www.ester.ee/record=b1804847*est