Szilicium planar technologiai eljaras szamitögepes stimulaciojaRang, Toomas; Tarnay, K.; Masszi, F.Finommechanika, mikrotechnika: az Optikai, Akusztikai és Filmtechnikai Egyesület, a Híradástechnikai Tudományos Egyesület és a Méréstechnikai és Automatizálási Tudományos Egyesület lapja1979 / p. 257-260