Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремнияPaat, Aadu; Timma, Enn; Trombovetski, A.Труды по физике : сборник статей. 61973 / с. 27-33 : илл https://www.ester.ee/record=b2190564*est https://digikogu.taltech.ee/et/Item/020d3bce-d60f-45bd-aa8f-4906f2c1d0d6