Наращивание поликристаллических слоев кремния на рельефную поверхность двуокиси кремния
Paat, Aadu
;
Timma, Enn
;
Trombovetski, A.
Труды по физике : сборник статей. 6
1973
/
с. 27-33 : илл
https://www.ester.ee/record=b2190564*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/020d3bce-d60f-45bd-aa8f-4906f2c1d0d6