Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов
author
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 135-142
series
series variant title
TPI Toimetised ; 432
Труды ТПИ ; 432
TTÜ subject term
notes
Библиогр. : 5 назв
language
vene
Бахверк, А. Идентификация последовательности термических операций диффузионной технологии производства силовых полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 135-142. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике ; 15).