Применение анодного окисления при исследовании электрофизических характеристик полупроводниковых структур "кремний на изоляторе"
author
statement of authorship
А.А.Гаврилов
journal volume number month
707
year of publication
pages
lk. 53-59: ill
ISSN
0868-4081
notes
Bibl. 7 nim
review
Abstract: A.Gavrilov. Application of anodic oxidation by the investigation of electrophysical characteristics of "silicon on insulator" structure
Kokkuvõte: Anoodoksüdeerimise kasutamine pooljuhtstruktuuride "räni dielektrikul" elektrofüüsikaliste karakteristikute uurimisel
language
vene
Гаврилов А.А. Применение анодного окисления при исследовании электрофизических характеристик полупроводниковых структур "кремний на изоляторе" // Tallinna Tehnikaülikooli Toimetised (1990) 707, lk. 53-59: ill.