К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов
author
statement of authorship
А. Кийтам
location of publication
Таллин
publisher
year of publication
pages
с. 143-151
series
series variant title
url
notes
Библиогр. : 9 назв
Summary: On solution of some problems using simulation model of technological process producing semiconductor devices
scientific publication
teaduspublikatsioon
TalTech department
language
vene
subject term
TalTech subject term
classifier
Кийтам, А. К решению некоторых задач на имитационной модели технологического процесса производства полупроводниковых приборов // Анализ и моделирование технических устройств и систем АСУТП. Таллин : Таллинский политехнический институт, 1977. с. 143-151. (Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института ; 432, Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 15).