Химические методы в технологии тонких пленок и гетеропереходов на их основе
author
statement of authorship
М. И. Крункс, А. М. Кульша, Э. Я. Мелликов
source
I Всесоюзная конференция по физике и технологии тонких пленок (явления переноса), г. Ивано-Франковск, 11-13 мая 1981 г. : тезисы докладов
location of publication
Ивано-Франковск
publisher
year of publication
pages
с. 93
conference name, date
I Всесоюзная конференция по физике и технологии тонких пленок (явления переноса), 11-13 мая 1981
conference location
Ивано-Франковск
subject term
TTÜ department
language
vene
Крункс, М., Кульша, А., Мелликов, Э. Химические методы в технологии тонких пленок и гетеропереходов на их основе // I Всесоюзная конференция по физике и технологии тонких пленок (явления переноса), г. Ивано-Франковск, 11-13 мая 1981 г. : тезисы докладов. Ивано-Франковск : [б.и.], 1984. с. 93.