Некоторые вопросы уменьшения влияния пыли в производстве полупроводниковых изделий
autor
Hansen, Eerik
Puusepp, Märt
Saar, Bernhard
vastutusandmed
Э.А. Хансен, М.Э. Пуусепп, Б.Я. Саар
allikas
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей. 8
ilmumiskoht
Таллин
kirjastus/väljaandja
Таллинский политехнический институт
ilmumisaasta
1970
leheküljed
с. 89-94 : илл
seeria-sari
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised = Труды Таллинского политехнического института. Серия А ; 291
Tallinna Polütehnilise Instituudi toimetised. Seeria A ; 291
Труды по электротехнике и автоматике : сборник статей ; 8
seeria variantpealkiri
TPI Toimetised ; Seeria A ; 291
pealkiri
seeria-sari
Труды ТПИ ; Серия А ; 291
pealkiri
seeria-sari
leitav
https://www.ester.ee/record=b2189971*est
https://digikogu.taltech.ee/et/Item/f65c4042-b55d-4b5b-b9b9-8a70cac2957d/
märksõna
pooljuhid
tootmine
tolm
mõjud
vähendamine
TTÜ märksõna
Tallinna Tehnikaülikooli toimetised
märkused
Библиогр.: 6 назв
Zusammenfassung: Einige Fragen zur Verminderung des Staubeinflusses in der Halbleiterherstellung
teaduspublikatsioon
teaduspublikatsioon
klassifikaator
3.2
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
peenmehaanika kateeder
keel
vene