Process development for 3D laser lithography
autor
Kaste, N.
Filbert, A.
Mescheder, U.
Rang, Toomas
Rang, Galina
vastutusandmed
N. Kaste, A. Filbert, U. Mescheder, T. Rang & G. Rang
allikas
High performance and optimum design of structures and materials
ilmumiskoht
Southampton
kirjastus/väljaandja
WIT Press
ilmumisaasta
2014
leheküljed
p. 139-150 : ill
seeria-sari
WIT transactions on the built environment ; 137
konverentsi nimetus, aeg
7th International Conference on High Performance and Optimum Design of Structures and Materials (HPSM)
konverentsi toimumispaik
Ostend, Belgium
leitav
https://doi.org/10.2495/HPSM140131
märksõna
fotolitograafia
lasertehnoloogia
Scopus
https://www.scopus.com/sourceid/5700191221
https://www.scopus.com/record/display.uri?eid=2-s2.0-84903147280&origin=inward&txGid=e1ae4752b9b2ada50986679520d8e0cc
kvartiil
Q3
kategooria (üld)
Engineering
Tehnika
Arts and humanities
Kunst ja humanitaarteadused
Social sciences
Sotsiaalteadused
kategooria (alam)
Engineering. Architecture
Tehnika. Arhitektuur
Arts and humanities. Arts and humanities (miscellaneous)
Kunst ja humanitaarteadused. Kunst ja humanitaarteadused (mitmesugused)
Social sciences. Safety research
Sotsiaalteadused. Ohutusuuringud
Engineering. Safety, risk, reliability and quality
Tehnika. Ohutus, risk, töökindlus ja kvaliteet
Engineering. Building and construction
Tehnika. Ehitus ja ehitus
Engineering. Automotive engineering
Tehnika. Autotehnika
võtmesõna
MEMS
greyscale
direct laser writing
3D photolithography
tactile sensor
medical application
ISSN
1746-4498
ISBN
978-1-84564-774-2
märkused
Bibliogr.: 6 ref
TTÜ struktuuriüksus
Thomas Johann Seebecki elektroonikainstituut
keel
inglise