Качество деионизированной воды, используемой в производстве микросхем
autor
Puusepp, Märt
Frid, M.
Hansen, Eerik
Hödrejärv, Helvi
vastutusandmed
М. Э. Пуусепп, М. И. Фрид, Э. А. Хансен, Х. Х. Хёдреярв
allikas
Электронная промышленность : ЭП : научно-технический сборник
ajakirja aastakäik number kuu
4 (64)
ilmumisaasta
1978
leheküljed
с. 75-76
leitav
https://www.ester.ee/record=b1802011*est
märksõna
vesi
deioniseerimine
mikroskeemid
tootmine
ISSN
0207-6357
märkused
Библиогр. 3 назв.
TTÜ struktuuriüksus
raadiotehnika kateeder
keel
vene