Низкотемпературная радиационно-стимулированная диффузия в технологии полупроводниковых приборов
autor
Шишияну, Сергей
Шонтя, Виктор П.
vastutusandmed
Сергей Шишияну; научный руководитель Виктор П.Шонтя
allikas
35 научная конференция студентов втузов Эстонии, Латвии, Литвы, Белоруссии и Молдовы : [Таллинн, 1991] : докдады. Секция математики [и др.]
ilmumiskoht
Б.м.
ilmumisaasta
1991
leheküljed
с. 31-34: ил
märksõna
pooljuhtseadised
difusioon (füüsika)
kiirgus
madalad temperatuurid
märkused
Библиогр. 4 назв
keel
vene